半导体光刻机、晶圆探测系统主动减振台-减震台-防震台，佳德捷主动式减震台-主动防振台/VC-E-200M/LP为各类大型SEM主动隔震台，大型TEM主动防震台，半导体设备主动减震系统，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动减震台

 

       描述：VC-E系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。VC-E系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

       适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

 

       工作原理：

       安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

 

       主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

 

       VC-E系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

产品亮点：

       六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振）                                                                  

       5-20ms响应时间                                                                   

       低频隔振性能优异,安装和使用简单

       系统主动检测输入振动并动态消除

       紧凑、模块化的多功能设计

       稳定性高，能无故障连续使用多年

       无低频共振、无空气要求

       应用范围： 

       STM                             

       AFM                              

       干涉仪

       摩擦学                           

       轮廓仪

       高精度计量