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VC-E系列主动式防震基座
采用主动式隔震设备达到有效隔震
七年多来,佳德捷在高端精密集成电路制造设备与半导体晶圆面板制造设备定制化被动隔振设备领域积累了丰富经验。同时,测量技术取得重大进步,但有些高灵敏的仪器仍为被动系统的固有共振频率所干扰。只有主动系统能够消除这种共振,佳德捷采用国外The Table Stable Ltd 研发的先进隔振v系统来补充其被动隔振系统。新型主动隔振系统能够提供灵敏仪器隔离干扰振动所需的一切性能。


产品实物图片:
产品选型:

产品特点:
- 主动式减震台
- 主动防振台
- AVI-200M/LP
- 各类大型SEM主动隔震台,大型TEM主动防震台,半导体设备主动减震系统,大型激光干涉仪主动隔振台,分析天平主动减震台。
产品优点:
- 在大部分的情况下此一标准不易达到。通常是一些雷射为主,行程较长、聚集点较小的设备才会要求此一振动环境
- AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统,可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界先进的主动隔振性能(从0.5 Hz开始)。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜上获得更多收益,并且平台采用了低调的模块化设计,无需为大多数仪器(包括大多数SEM)安装所需的升降设备,从而简化了安装过程。
- 适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台,轮廓仪防震台,电子太平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震。
产品详情:
- 安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响,有效的解决方案则是使用隔振台(减振台),以便营造适合该设备的条件。
- 主动隔振台使用电气控制,通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动,并基于该信息,执行器沿相反方向产生作用力,并继续产生上佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。
- AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统,可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界先进的主动隔振性能(从0.5HZ 开始)。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户)显微镜上获得更多收益,并且平台采用了低调的模块化设计,需为大多数仪器(包括大多数SEM )安装所需的升降设备,从而简化了安装过程。
- 适用于各类大型电子显微镜AEM SEMSATMTEM,干扰仪防震台,轮廓仪防震台,电子太平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震!
产品亮点:
- 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)
- 5-20ms响应时间
- 低频隔振性能优异,安装和使用简单
产品技术参数:
- 隔振(5-20ms响应时间)
- 0.5Hz - 200Hz
- 系统主动检测输入振动并动态消除
- 紧凑、模块化的多功能设计
- 稳定性高,能无故障连续使用多年
- 无低频共振、无空气要求
VC-E主动隔振系统
进行高分辨率测量的人都了解振动将降低仪器的分辨率,许多人梦想着能在无振动的完美环境中工作。VC-E系统可消除低频0.5Hz-200Hz频率范围内,让您的梦想成真。
VC-E主动隔振系统,有利于为基础研究、应用研究、生产等所用精密仪器创造稳定测量环境。VC-E系列可在宽频率范围内进行隔振,为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能。
VC-E主动式基座
主动式减震台-主动防振台/-VC-E-200M/LP为各类大型SEM主动隔震台,大型TEM主动防震台,半导体设备主动减震系统,大型激光干涉仪主动隔振台,分析天平主动减震台
产品实物图片

描述
VC-E系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统,可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界新型主动隔振性能(从0.5Hz 开始)。VC-E系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜上获得更多收益,并且平台采用了低调的模块化设计,无需为大多数仪器(包括大多数SEM)安装所需的升降设备,从而简化了安装过程,适用于各类大型电子显微镜。AEM\SEMNATM\TEM,干扰仪防震台,轮廓仪防震台,电子天平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震。
VC-E特征
- 使用简单,安装后仅需简单调节弹簧
- 安装时无需调整参数
- 从低频以上提供隔振环境
- 控制装置LED 灯闪烁表明超载
- 可在示波器上观察控制装置背面的诊断信号,检查隔振系统是 否正确运作
工作原理
- 安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响,较为有效的解决方案则是使用隔振台(减振台),以便营造出适合该设备的条件。
- 主动隔振台使用电气控制,通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动,并基于该信息,执行器沿相反方向产生作用力,并继续产生上佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz 以下的低频范围内的隔振。
产品亮点
- 六个空间方向自由隔振(0.5Hz-200Hz主动隔振,>200Hz被动隔振)5-20ms响应时间低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高,能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求
应用范围
STM、AFM、干涉仪、轮廓仪高精度计量
振动干扰示例
关闭隔振功能时,振动使图像变得模糊。开启隔振功能时,可消除振动并使图像变得清晰。
隔振性能示例:VC-E-200M/LP
垂直(Z), 水平(X)和水平(Y)方向上的振动传递率
实际测量的振动结果VC-E系列在1.0Hz-200Hz宽范围内控制振动。通过控制宽频率,它可以提供理想的主动隔振性能。
不同负载下的振动传递率
VC-E系列在30Hz以下的隔振性能与负载无关。在较高频率上,隔振性能随负载增加而略微增加。
产品参数表

应用范围:
STM、AFM、干涉仪、摩擦学、轮廓仪、高精度计量
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