机台有震动要求，机台本身重量不重，以独立脚于与高架地板做隔离
产品实物图片：
产品选型：
产品特点：
- 高稳定度，高精确度，以确保机台本身不受任何外界干扰
- 防震及充分安全的生产环境
- 精确的生产制程使您及您的客户无后顾之忧
- 安全生产以节省更多后续维修成本
产品优点：
大部分的设备包括电子显微镜 (TEM及SEM)及E-Beam 系统在运转时都会要求振动环境要在此范围内才可保障设备性能充分发挥
产品详情：
- 机台隔离高架地板震动需求或荷重需求，采用独立脚（大象脚） 支撑形式，支撑设备重量并与高架地板隔离
- 机台有震动需求，没有具体微震等级且机台本身重量不重，以独立脚支撑设备重量并与高架地板作隔离，减少外界对其影响
- 机台设备本身对震动需求较高，设备本身重量相对较轻，主要针对一些测量设备，以独立圆盘或方盘支撑柱型式与高架地板相分离，应有8-10mm间隙
- VC-D型基座单只支撑承载性能测试，轴向荷载不低于70KN
钢制原料：
- 准确的尺寸
- 光滑表面
- 安装较容易（10T钢板固定孔规格:14.5*4 通孔预留孔规格:M10*8 螺纹孔）
- 加装防震脚以防止地震产生位移，不锈钢圆盘或方盘的规格依设备支撑脚的大小及要求而定
- 独立支撑柱应为无缝钢制作，且高度可调节，钢材表面使用洁净室许可的粉体喷涂烤漆或环氧树脂进行处理且表面粗糙度达到洁净室许可标准
特制复合混凝土原料：
- 专为高精准 EUV特制
- 高精细度
- 超高强度混凝土（11000-15000 psi）制式
产品尺寸：
产品技术参数：
| 平整度 |
倾斜度 |
尺寸公差 |
孔位偏差 |
环氧厚度 |
钢度 |
最大位准
（u inch/seo） |
制程最小解析度
（um） |
| ≤1.5 mm/㎡ |
≤1.5 mm |
≤±1mm |
≤±0.5mm |
≥3mm |
≥1.0E+08 N/m |
200 |
0.3 |
适合机台：隔离高架地板震动
运用行业：应用于ASM，NIKON，CANON，SMEE等区域工艺机台设备
