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PROduCT

VC-B 系列隔离形式基座(承重等级型)
机台无震动或刚性需求,但重量很重,高架地板无法承受,需再在钢板之下做钢构补强
产品实物图片:
产品选型:

产品特点:钢构或底部钢构上部RC
产品优点:1000倍以下的光学显微镜3μm制程的光学检测设备及光学平板印刷设备 (包括步进机-steppers) 均可适用此一规范
产品详情:
- 设备机台有荷重需求或设备脚位高于700kg/in2,高架地板无法承载重量,需采用钢结构基础座进行承载
- 机台无震动或刚性需求,但重量很重,即每平方大于1600KG,需在钢板之下作钢构补强
钢制原料:
- 精确的尺寸与基座精密度
- 光滑表面
- 安装较容易
产品尺寸:
产品技术参数:
钢板厚度 平整度 尺寸公差 烤漆厚度 最大位准
(u inch/seo)
制程最小解析度
(um)
>8.0mm ≤1.5mm/㎡ ≤±1mm ≥100μm 1000 3
适合机台:有微振要求
运用行业:应用于CMP,WET,DF,Track等区域工艺机台设备
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